傅利叶变换红外光谱分析仪

傅利叶变换红外光谱分析仪

描述

MKS MultiGas™ 6030傅利叶变换红外光谱分析仪是以傅利叶变换红外为基础的多气体光谱分析仪。其具有ppb到ppm灵敏度。广泛用于半导体生产工艺控制和监控，气体纯度和组成分析，环境有毒有害气体监视和工业尾气监视。MultiGas™ 6030傅利叶变换红外光谱分析仪能分析含有高达40%水的气流，能同时分析和显示多达30种气体。分析仪储存了校准光谱，故省出了气体筒的成本。另外，操作者也会发现MultiGas™ 6030傅利叶变换红外光谱分析仪操作简便，易于维护。

MultiGas™ 6030傅利叶变换红外光谱分析仪由保护的2102傅利叶变换红外制成分光计，高光通量取样单元，专业分析软件及独立的定量光谱库组成。MultiGas™6030收集高分辨率的红外光谱与定量光谱库分析，提供绝大多数气体及水蒸气的高精度，高灵敏度测量。

傅利叶变换红外光谱分析仪特点和优点

l10ppb-100%灵敏度对于绝大多数有毒有害气体

l易于移动从一处移到另一处，设置仅需几分钟

l同时分析和显示多达30种气体

l分析仪储存了校准光谱，省去了气体筒的成本

l取样气体在进入分析室前加热并维持恒定温度

l保护的线性检测器，确保所有分析仪维持在相同的校准条件下

l频率和分辨率诊断，确保校准恒定

l提供自动温度和压力补偿以确保分析精度

l用户操作简便软件界面，稍加培训即可操作

傅利叶红外光谱分析仪应用

l烟囱监测器

l工艺监测改进和优化

l空气环境分析

l气体纯度分析

l燃烧排放监测

l选择性硅整流催化还原性能监测

光谱分析

Multigas的分析器有个具有定量和多功能的分析软件，它能同时分析和报道许多混合物的浓度，这个能在个人电脑上运行的软件，能对分析器直接量测到的气体温度和压力的变化进行自动修正。样本的收集和分析在一秒内完成，进行瞬时分析。

残留光谱：除去样本示范的校准

整个数据整理过程中，MultiGas 软件一边计算SETUP里面选择气体的浓度，一边不断的收集和描绘光谱。显示形式包括浓度历史的图表和列表形式，测得的光谱和残余光谱。这个残余光谱能被用来确定分析的误差，使得QA/QC变得简单和真实。当解决了所有被提及的光谱后，残留光谱就描绘“剩余的"光谱信息一次。一旦光谱被收集和保存，这些光谱可以在任何时候利用同样或不同的零点设定进行再工艺。

工艺的时间线

半导体堆的红外光谱：样品(白)，校准(有颜色的) MultiGas 6030能同时区分相似的分子

对应环境和工艺监控的特殊设计，2102傅利叶变换红外分光计是紧凑和粗糙的，能够在0.5cm-1的光谱决议上操作，是可用的处理FTIR方式中最快速，灵敏和稳定的！另外，它能在在恶劣环境下操作，具有对高温，振动和温度变化的免疫。更可贵的是，高速率的数据处理系统是标准的，为分析提供低噪音的红外光谱。

2102  傅立叶变换红外分光计

这个分光计连接到一个小体积(200mL) 多变换，有5.11米有效通道的取得zl权的气室，这个气室的zl设计结合了非球面的，非端正的镜子，它能为传统的多变换气室提供两倍光学吞吐量。做为选择，一个单变换的气室能用于很高浓度的高腐蚀或者强吸收率的气体，任何一种气室在环境温度到191℃之间操作。

5.11米光路，200毫升，长通道测量气室8-1/2"x 2"x 3-1/2",运用zl的非端正光学以达到最大的灵敏性

仪器的自主校准

MultiGas 的软件有多点校准图，能提供一个动态的范围至10-9的的数量级.许多核数的校准都由其提供，另外，用户也可以通过已知的浓度来进行校准。MultiGas 软件检验每个工具的性能的效用，使它能把一个已经在一台机器上校准的的值用于其他任何一台机器上，而且不用变更。

傅利叶变换红外光谱分析仪规格

分析仪主机

l测试技术：傅利叶变换红外光谱

l可测试气体或水蒸气:绝大多数分子除了氮气，氧气和氢气

l  范围:浓度从10ppb到100%

l  傅利叶变换红外:2102制成傅利叶变换红外

l 光谱分辨率:0.5-128cm-1

l  扫描速度：每秒1次在0.5cm-1

l     扫描时间：1 - 300秒

l    红外源：碳化硅在1200℃

l   参考激光：氦氖（15798.2cm-1

l  检测器：液氮冷却MCT或半导体制冷冷却MCT（汞-镉-碲化物）

l 清洁(Purge)压力：最大20PSI(1.5bar)

l    光谱室Purge流量：0.2升/分，干燥氮气或露点在-70℃以下无二氧化碳的干燥空气

l   光学系统Purge流量：0.2升/分，干燥氮气或露点在-70℃以下无二氧化碳的干燥空气

l  压力传感器：MKS Baratron®电容式薄膜压力传感器

l     Purge连接：Swagelok®快速接头

l   电脑要求：台式或笔记本电脑带Intel奔腾®处理器,微软Wingdows®XP操作系统，1024 X 768显示

l       通讯口：RJ-45交叉以太网

l    输出选件：XML，模拟，AK，其他

l      尺寸：445mm宽 × 318mm高 × 648mm深

l  安装：可安装于19英寸标准机柜

l  电源：110V或220V，50/60hz，3A

l  重量：50公斤

分析仪采样参数

l    采样温度：室温至200℃（取决于校准温度）

l  采样速流：0.2 –10升/分

l   采样压力：0.01 –4大气压（取决于校准压力）

分析仪气体室

l              结构 ：镀镍铝，或316不锈钢焊接选件

l             接头 ：Swagelok®或VCR®

l            采样压力 ：1个大气压（取决于校准压力）

l            管道：加热不锈钢

l            镜：铝衬底镍板，镀金

l            窗口：KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可选)

l        “O"型密封圈：Viton®，(其他可选)

检测极限

5.11米气室，MCT检测器在0.5cm-1分辨率下，下列典型气体低检测数据为：