本周日,11 月 1 日,由开云kaiyun官方在线入口参与起草的以下四项电子气体国家标准将正式实施。
01 四项标准一览
GBT+31058-2026 电子气体 四氟化硅代替 GB/T 31058-2014
GB/T 31986-2026 电子气体 八氟丙烷代替 GB/T 31986-2015
GB/T 31987-2026 电子气体 锗烷代替 GB/T 31987-2015
GB/T 32386-2026 电子气体 六氟化钨代替 GB/T 32386-2015
四项标准均于 2026 年 4 月 30 日发布、2026 年 11 月 1 日实施,由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)归口。
02 这批标准管什么
四项都是产品标准,规定了对应电子气体的技术要求、采样、检验规则,以及标志、包装、运输、贮存和安全信息要求,并描述了相应的试验方法。
这次实施的都是对 2014、2015 年旧版的全面代替。对气体生产企业和检测实验室来说,意味着采购验收、出厂检验、方法比对所依据的技术要求,从 11 月 1 日起要切换到新版文本上。
03 检测端配套:气路的惰性与抗腐蚀
电子气体杂质分析往往在痕量级别进行。气路内壁若有活性位点或不够耐蚀,腐蚀性组分会与管材反应,痕量组分被吸附或生成杂质,测出来的结果就不再代表气瓶里的真实样品。
开云kaiyun官方在线入口可提供配套的设备:
▍仪器类:多组分气体稀释装置、气相色谱仪、露点仪、傅里叶红外光谱仪、质量流量控制器、检测器、纯化器等
▍耗材类:VICI阀件、管路接头、钝化接头、钝化管线、钝化减压阀、色谱柱、填充柱、定量环等
并长期供应进口SilcoTek 硅钝化产品(Sulfinert / SilcoNert 钝化 316L 不锈钢,内壁 CVD 硅涂层)及承接产品对外硅钝化处理业务。
★新标准实施在即,如果贵司正在为四氟化硅、八氟丙烷、锗烷、六氟化钨的分析系统做采样与传输环节的选型,或有相关仪器、耗材产品需求欢迎交流咨询。
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